FMSZ140C 系列直线电机垂直升降台

高精度、结构紧凑、集成灵活

菲克科技 FMSZ140C 系列直线电机垂直升降台，专为需要高精度垂直定位的实验室和工业应用而设计。FMSZ-C 系列升降台采用直线电机驱动，具备高精度、高稳定性、低噪音等特点，结构紧凑，易于集成，提供多种行程和配置选择，满足多样化的应用需求。

主要特点

多种行程可选，满足更多应用需求： 提供 50mm 和 100mm 两种行程选择，结构紧凑，可灵活集成于各种空间受限的应用场景。

精密结构，稳定可靠： 采用集成式一体化交叉滚柱导轨和高品质直线电机，结合菲克科技标准化安装工艺，确保卓越的运动精度和长期稳定的可靠性，Pitch 和 Yaw 精度表现优异。

高分辨率，精细控制： FMSZ140C 系列升降台采用直线电机驱动，拥有极佳的微步能力，配合菲克科技高性能控制器，可实现微米级的精细定位，满足对极致精度的追求。

两种配重方案，适应不同应用环境： 可选配恒力弹簧或气缸配重，满足不同负载和速度需求，保证运动平稳、一致性高。

超静音运行，打造舒适环境: 超静音位移台，适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。

强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。

高性能控制器，实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入，可满足各种复杂运动控制需求。

灵活通讯，无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制，实现高速、稳定的数据传输。

产品应用

精密Z轴 Precision Z-axis、高端仪器设备 High-end Equipment、半导体检测 Semiconductor Inspection、半导体切割 Semiconductor Cutting

组合搭配

It can be flexibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information

性能实测

位移台-控制器选型表