
在高级半导体器件与集成电路生产中,精确加工晶圆是重要环节。菲克科技研发了五轴位移系统,提供更高加工精度和灵活性。该系统包括X、Y平移两轴、Z升降轴、R旋转轴和DS晶圆顶升轴。每个轴都有独特功能,协同工作确保加工精准和灵活。

为持续优化产品体系,提升核心产品竞争力及服务质量,菲克科技正式研究决策,FMC01-Mini系列自本通知发布之日起正式开始供应。FMC01系列普通版及NANO版将于2026年12月31日后将不再销售。

真空六轴镜架是菲克为满足客户需求专门研发的定制产品,在不同位置对光路进行引导并且能够完成XYZR方向的位移进行各角度收光,适用于实验室需要光路密封传递不同角度时高精度位置信息的光路实验。