
在高级半导体器件与集成电路生产中,精确加工晶圆是重要环节。菲克科技研发了五轴位移系统,提供更高加工精度和灵活性。该系统包括X、Y平移两轴、Z升降轴、R旋转轴和DS晶圆顶升轴。每个轴都有独特功能,协同工作确保加工精准和灵活。

潮湿淋水、户外工况、油液喷溅等恶劣使用环境,对精密旋转台的密封防护、机械可靠性、定位精度都提出双重考验,普通标准旋转台极易出现进水、进油、内部部件锈蚀失效等问题。菲克科技基于成熟旋转台技术平台,针对客户严苛环境使用需求完成定制项目落地 —— FMSR150D IP65 防水步进旋转台。

菲克科技自主研发的高精度步进电机闭环控制系统,专为满足市场对运动控制精度和可靠性日益增长的需求而设计。它不仅继承了步进电机开环驱动的所有优点,还在确保精度的同时,拓展了工作速度范围。

在精密制造和科学研究领域,对角度测量和定位的精度要求日益严苛。为了满足这一需求,四川菲克科技潜心研发,推出高精度闭环步进旋转台。这款产品在传统蜗轮蜗杆传动的基础上,巧妙融合了先进的闭环控制技术,实现了亚角秒级精度,为科研、制造、检测等领域提供了全新高精度角度定位解决方案。