在高级半导体器件与集成电路生产中,精确加工晶圆是重要环节。菲克科技研发了五轴位移系统,提供更高加工精度和灵活性。该系统包括X、Y平移两轴、Z升降轴、R旋转轴和DS晶圆顶升轴。每个轴都有独特功能,协同工作确保加工精准和灵活。
菲克科技研发的FMSXY120-20步进电机二维扫描平台适用于行程范围在0-20mm之间的各项应用。结构坚固、性能卓越,广泛应用于各种精密科研和工业生产环节,包括检测设备、二维扫描、显微载物台等。
在精密制造和科学研究领域,对角度测量和定位的精度要求日益严苛。为了满足这一需求,四川菲克科技潜心研发,推出高精度闭环步进旋转台。这款产品在传统蜗轮蜗杆传动的基础上,巧妙融合了先进的闭环控制技术,实现了亚角秒级精度,为科研、制造、检测等领域提供了全新高精度角度定位解决方案。