发布时间：2025-03-19浏览量：563次来源：菲克科技
高性能真空十轴位移台
高性能真空十轴位移台是菲克为满足客户需求专门研发的定制产品，适用于真空环境下的高精度激光扫描，光路搭建等其他对位置精密有要求的领域。真空十轴位移台主要由两个部分组成，分别为六轴样品位移台和四轴探测器位移台，样品位移台用于样品安装固定，探测器位移台用于安装激光探测器，两组位移台都能够进行相对独立的运动，且互相不干涉。
真空十轴位移台包含四种运动模式：平移、升降、旋转、偏摆。终端可使用手动调平装置进行调整。单轴双向重复定位精度可达±1.4μm，定位精度可达±3μm；整体单向直线度误差±6μm。各轴关系匹配角度误差不大于0.5°；距离误差1mm左右。
该套产品使用环境可达高真空度1x10-5Pa，所有原器件均采用真空适用材料，环境适应性强。
旋转轴全部使用光栅尺进行闭环反馈，平移升降轴预留光栅尺接口，目前使用半闭环进行控制，后期也可加上光栅尺完成全闭环，精度可进一步提升。
四轴探测器位移台
高性能真空十轴位移台
真空伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆+圆弧光栅
行程220°，采用伺服电机+交叉滚子导轨+涡轮蜗杆结构+圆弧光栅。光栅尺进行末端位置反馈，实现全闭环，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
| 平移轴-Rx'(2θ) 带载实测精度 | |
| 行程 | -10-210° |
| 定位精度 | ±0.0073° |
| 双向重复定位精度 | ±0.00465° |
真空步进电机+不锈钢直线导轨+高精度滚珠丝杆
行程700mm。采用步进电机+直线导轨+滚珠丝杆。整体为半闭环，预留光栅尺接口。主要为悬臂使用，精度要求不高。
真空伺服电机+不锈钢直线导轨+高精度滚珠丝杆
行程120mm。采用伺服电机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成闭环，进行精度跟踪，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
| 升降轴-X1 带载实测精度 | |
| 行程 | 120mm |
| 定位精度 | ±14.55μm |
| 双向重复定位精度 | ±1.4μm |
真空步进电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆
行程180°。采用步进电机+交叉滚子导轨+涡轮蜗杆结构。性价比高，经济实用。
| 旋转轴-ψ 带载实测精度 | |
| 行程 | 180° |
| 定位精度 | ±0.029° |
| 双向重复定位精度 | ±0.01° |
六轴样品位移台
高性能真空十轴位移台
真空伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆+圆弧光栅
行程107.5°。采用伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆结构+圆弧光栅。光栅尺进行末端位置反馈，实现全闭环，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
| 旋转轴-Rx(θ) 带载实测精度 | |
| 行程 | -12.5-95° |
| 定位精度 | ±0.0085° |
| 双向重复定位精度 | ±0.0025° |
真空伺服电机+不锈钢直线导轨+滚珠丝杆
行程400mm。采用伺服电机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成闭环，进行精度跟踪，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
| 平移轴-Y 带载实测精度 | |
| 行程 | -20-380mm |
| 定位精度 | ±9.8μm |
| 双向重复定位精度 | ±4.7μm |
真空伺服电机+减速机+定制蜗轮蜗杆+弧形光栅
行程40°。采用伺服电机+减速机+定制蜗轮蜗杆结构+弧形光栅。光栅尺进行末端位置反馈，实现全闭环，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
| 偏摆轴-Ry(tilt) 带载实测精度 | |
| 行程 | -20-20° |
| 定位精度 | ±0.00155° |
| 双向重复定位精度 | ±0.0008° |
真空伺服电机+不锈钢直线导轨+滚珠丝杆
行程200mm。采用伺服电机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成闭环，进行精度跟踪，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
| 平移轴-Z 带载实测精度 | |
| 行程 | 200mm |
| 定位精度 | ±2.75μm |
| 双向重复定位精度 | ±1.15μm |
真空伺服电机+减速机+直线导轨+滚珠丝杆
行程180mm。采用伺服电机+减速机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成闭环，进行精度跟踪，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
| 升降轴-X 带载实测精度 | |
| 行程 | 180mm |
| 定位精度 | ±6.6μm |
| 双向重复定位精度 | ±1.4μm |
真空伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆+圆弧光栅
行程360°。采用伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆结构+圆弧光栅。光栅尺进行末端位置反馈，实现全闭环，通过驱动可做精度补偿；可实现断电自锁。
| 旋转轴-φ 带载实测精度 | |
| 行程 | 360° |
| 定位精度 | ±0.023° |
| 双向重复定位精度 | ±0.007° |
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在精密制造和科学研究领域，对角度测量和定位的精度要求日益严苛。为了满足这一需求，四川菲克科技潜心研发，推出高精度闭环步进旋转台。这款产品在传统蜗轮蜗杆传动的基础上，巧妙融合了先进的闭环控制技术，实现了亚角秒级精度，为科研、制造、检测等领域提供了全新高精度角度定位解决方案。
菲克推出全新一代迷你型三轴直线/伺服控制器FMC04-MINI03。不仅小巧精致，更是性能卓越。内置高性能控制器和低压直流驱动，结合高精度光栅尺和高性能控制模块，构建完美闭环控制系统，实现对小型直线/伺服位移台的速度、位置和力矩的精准控制。
经过数月的不懈努力，菲克科技终于推出了备受期待的IMC系列驱控一体智能运动位移台系列的第一个产品IMC50。
真空六轴镜架是菲克为满足客户需求专门研发的定制产品，在不同位置对光路进行引导并且能够完成XYZR方向的位移进行各角度收光，适用于实验室需要光路密封传递不同角度时高精度位置信息的光路实验。