发布时间：2025-12-15浏览量：380次来源：菲克科技
FMS60VR-40
真空高精度整体台面平移台
菲克科技为客户定制的FMS60VR-40真空高精度整体台面平移台可用于在真空环境中进行精密的位移和定位。该系统具有坚固的结构和卓越的性能，在各种精密科研和工业生产环节广泛应用，其中包括光学、半导体、纳米技术、航空航天等领域。此产品还可根据需求进行定制化，包括行程、精度、尺寸等各种参数。
真空平移台使用高性能真空步进电机，高等级的丝杆和导轨，保证位移台精度、直线度等要求，该位移台可以适用于超高真空环境，在10^-5 Pa环境中也能行动自如，且耐辐照剂量能达到10^-6 GRY，位移台结构小巧，操控简单适配菲克标准控制器，标准M6安装孔位适配各种光学平台，可以根据客户的需求进行定制，以适应不同的应用场景。
光学领域
在光学实验中，需要对光路进行调整和对焦，真空高精度整体台面平移台可用于精确移动光学元件，以实现对光路的精确控制。
在半导体制造过程中，需要对芯片进行精确的对位和对准操作，真空高精度整体台面平移台可用于芯片的平移和定位，确保精确的位置控制。
在真空环境下进行实验时，需要对样品或仪器进行移动和定位，真空高精度整体台面平移台可以提供稳定的平移控制，以满足实验的需求。
航空航天领域
在航空航天设备的制造和测试过程中，需要对零部件进行精确的移动和定位，真空高精度整体台面平移台可用于控制零部件的平移和定位，确保装配和测试的精度和稳定性。
产品优势
▶ 高精度定位：真空平移台的加工要求和器件要求非常高，需要对真空环境中的各种器件进行精确定位。真空平移台具有高精度的特点，能够在短时间内完成高精度的定位操作。
▶ 操作简单：真空平移台采用脉冲控制技术，操作过程非常简单，只需要通过控制器输入预设参数，即可完成各种调整操作。因此，不需要过多的人力投入，提高了生产效率。
▶ 可靠性高：真空环境中对位移台的稳定性和可靠性要求非常高，而真空平移台采用优质不锈钢材料制造，具有高强度、高刚性和高稳定性，能够承受长时间真空中的工作负荷，保证了设备的可靠性和稳定性。
▶ 可接受定制：真空高精度位移台可接受定制，为用户提供了更多的选择和灵活性。根据客户对包括行程、精度、尺寸等各种参数的需求，为客户提供定制化的产品，以适应不同的应用场景。
真空平移台-FMS60VR-40
| 行程 | 40mm |
| 定位精度 | ＜±18μm |
| 双向重复定位精度 | ＜±3μm |
| 最小步进量 | 2μm |
菲克科技为客户定制的FMS60VR-40真空高精度整体台面平移台适用于在真空环境中进行精密的位移和定位。它配备了各种真空高性能设备，在真空环境下台面移动的准确性得到了强有力的保证。使用M6螺钉，可以构建成二维XY真空电控位移系统。由于其高精度、易于使用、承载能力强、可靠性高以及可根据需求进行定制等特点，该产品被广泛应用于光学、半导体、纳米技术、航空航天等领域，同时也可实现在真空、污染、无菌、辐射等环境下的自动化位移控制。
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