
菲克科技研发的FMSXY120-20步进电机二维扫描平台适用于行程范围在0-20mm之间的各项应用。结构坚固、性能卓越,广泛应用于各种精密科研和工业生产环节,包括检测设备、二维扫描、显微载物台等。

FMSXY250Z-120-110DB 超薄一体化二维扫描平台是专为满足对空间及性能有极高要求的应用场景而设计。该平台集成了菲克科技在直线电机驱动、高精度定位、闭环控制和微型化设计等方面的核心技术,以紧凑的结构实现卓越的运动性能,助力客户在微纳尺度世界中取得突破。

在高级半导体器件与集成电路生产中,精确加工晶圆是重要环节。菲克科技研发了五轴位移系统,提供更高加工精度和灵活性。该系统包括X、Y平移两轴、Z升降轴、R旋转轴和DS晶圆顶升轴。每个轴都有独特功能,协同工作确保加工精准和灵活。

在重型装备测试、大吨位试验平台、特殊腐蚀工况下,普通旋转台难以兼顾十吨级重载承载与角度控制精度,设备抗振、结构强度、瞬时响应都面临极大考验。菲克科技基于成熟运动控制技术,针对客户重载工况需求完成定制项目落地 ——FMSR950 高精度高负载旋转台。