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发布时间：2024-02-22浏览量：50次来源：菲克科技
步进电机二维扫描台
菲克科技研发的FMSXY120-20步进电机二维扫描平台适用于行程范围在0-20mm之间的各项应用。结构坚固、性能卓越，广泛应用于各种精密科研和工业生产环节，包括检测设备、二维扫描、显微载物台等。
该产品使用偏置安装，负载重量6 kg，最大速度2 mm/s。整体尺寸为120 mm x 120 mm x 60 mm。
根据客户需求该产品还可以对行程、精度、尺寸等各种参数进行定制。
移动装置设计为大力矩步进电机+高精度滚珠丝杆形成开环模式。既能保证运动丝滑顺畅，又能满足精度需求。
同时根据客户需求还可以更换为伺服电机并增加光栅尺做半闭环和全闭环模式。
| X轴精度 | |
| 定位精度 | ±5.1 μm |
| 重复定位精度 | ±2.3 μm |
| X轴直线度 | |
| XX直线度 | 3.9 μm |
| YY直线度 | 0.8 μm |
| X轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 5.0 arc sec |
| B角(PITCH) | 4.6 arc sec |
| Y轴精度 | |
| 定位精度 | ±6.75 μm |
| 重复定位精度 | ±0.9 μm |
| Y轴直线度 | |
| XX直线度 | 1.1 μm |
| YY直线度 | 1.8 μm |
| Y轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 14.7 arc sec |
| B角(PITCH) | 2.9 arc sec |
电 话:+86-028-85864663
邮 箱:info@feinixs.com
网 址:http://www.feinixs.com
菲克科技自主研发的步进旋转台专为需要高精度定位和稳定性能的应用而设计。它完美融合了步进电机的精准控制和蜗轮蜗杆传动的卓越效率，在科学仪器、工业自动化、半导体制造和任何需要精密定位的领域都将展现出色的性能。
在高级半导体器件与集成电路生产中，精确加工晶圆是重要环节。菲克科技研发了五轴位移系统，提供更高加工精度和灵活性。该系统包括X、Y平移两轴、Z升降轴、R旋转轴和DS晶圆顶升轴。每个轴都有独特功能，协同工作确保加工精准和灵活。
菲克科技最新研发的FMC-JK03三轴运动控制手柄体积小，操作简单，功能丰富。配合菲克FMC01/03/04-H系列高性能控制器，能对菲克各类位移台进行快捷的运动控制。
为满足用户对更高精度、更稳定性能和更便捷操作的需求，菲克科技对高性能控制器进行了革新升级，引入了先进的总线控制技术。通过与上银E2驱动器的深度集成，新一代高性能控制器在保持高性能的同时，大幅提升了易用性，为科研和生产应用带来更多可能性。