发布时间:2024-02-22浏览量:749次来源:菲克科技


步进电机二维扫描台
菲克科技研发的FMSXY120-20步进电机二维扫描平台适用于行程范围在0-20mm之间的各项应用。结构坚固、性能卓越,广泛应用于各种精密科研和工业生产环节,包括检测设备、二维扫描、显微载物台等。
该产品使用偏置安装,负载重量6 kg,最大速度2 mm/s。整体尺寸为120 mm x 120 mm x 60 mm。
根据客户需求该产品还可以对行程、精度、尺寸等各种参数进行定制。


移动装置设计为大力矩步进电机+高精度滚珠丝杆形成开环模式。既能保证运动丝滑顺畅,又能满足精度需求。
同时根据客户需求还可以更换为伺服电机并增加光栅尺做半闭环和全闭环模式。

| X轴精度 | |
| 定位精度 | ±5.1 μm |
| 重复定位精度 | ±2.3 μm |

| X轴直线度 | |
| XX直线度 | 3.9 μm |
| YY直线度 | 0.8 μm |

| X轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 5.0 arc sec |
| B角(PITCH) | 4.6 arc sec |

| Y轴精度 | |
| 定位精度 | ±6.75 μm |
| 重复定位精度 | ±0.9 μm |

| Y轴直线度 | |
| XX直线度 | 1.1 μm |
| YY直线度 | 1.8 μm |

| Y轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 14.7 arc sec |
| B角(PITCH) | 2.9 arc sec |


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随着IMC驱控一体位移台的上线,我们的对应控制软件也同步发布,旨在为用户提供便捷而简洁的控制体验。这款软件由菲克科技独立开发,支持通过PC上位机进行安装,功能齐全且设置简单,完美契合绝大多数客户的需求。

菲克科技带来专为高 / 超高真空环境量身定制的XYZ/XYR 三轴一体化真空位移台。产品支持 10⁻⁴~10⁻⁶Pa 真空度,采用全金属低释气设计与精密传动结构,完美解决真空环境下的高精度定位难题,为半导体制程、前沿科研、精密光学等领域提供稳定可靠的运动控制解决方案。


菲克科技自主研发的步进旋转台专为需要高精度定位和稳定性能的应用而设计。它完美融合了步进电机的精准控制和蜗轮蜗杆传动的卓越效率,在科学仪器、工业自动化、半导体制造和任何需要精密定位的领域都将展现出色的性能。