发布时间:2024-02-22浏览量:124次来源:菲克科技
步进电机二维扫描台
菲克科技研发的FMSXY120-20步进电机二维扫描平台适用于行程范围在0-20mm之间的各项应用。结构坚固、性能卓越,广泛应用于各种精密科研和工业生产环节,包括检测设备、二维扫描、显微载物台等。
该产品使用偏置安装,负载重量6 kg,最大速度2 mm/s。整体尺寸为120 mm x 120 mm x 60 mm。
根据客户需求该产品还可以对行程、精度、尺寸等各种参数进行定制。
移动装置设计为大力矩步进电机+高精度滚珠丝杆形成开环模式。既能保证运动丝滑顺畅,又能满足精度需求。
同时根据客户需求还可以更换为伺服电机并增加光栅尺做半闭环和全闭环模式。
X轴精度 | |
定位精度 | ±5.1 μm |
重复定位精度 | ±2.3 μm |
X轴直线度 | |
XX直线度 | 3.9 μm |
YY直线度 | 0.8 μm |
X轴俯仰角测试 | |
A角(YAW) | 5.0 arc sec |
B角(PITCH) | 4.6 arc sec |
Y轴精度 | |
定位精度 | ±6.75 μm |
重复定位精度 | ±0.9 μm |
Y轴直线度 | |
XX直线度 | 1.1 μm |
YY直线度 | 1.8 μm |
Y轴俯仰角测试 | |
A角(YAW) | 14.7 arc sec |
B角(PITCH) | 2.9 arc sec |
电 话:+86-028-85864663
邮 箱:info@feinixs.com
网 址:http://www.feinixs.com
菲克科为客户定制的高性能四轴位移系统,以其卓越的精度、稳定性和定制化服务,为显微扫描应用提供可靠保障。 该系统以10nm/s的超精细最小运动速度,赋予对微观世界前所未有的掌控力,助力探索微观世界的无限可能。
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菲克科技自主研发的高精度步进电机闭环控制系统,专为满足市场对运动控制精度和可靠性日益增长的需求而设计。它不仅继承了步进电机开环驱动的所有优点,还在确保精度的同时,拓展了工作速度范围。