发布时间：2023-11-30浏览量：574次来源：菲克科技
真空六轴镜架
真空六轴镜架是菲克为满足客户需求专门研发的定制产品，在不同位置对光路进行引导并且能够完成XYZR方向的位移进行各角度收光，适用于实验室需要光路密封传递不同角度时高精度位置信息的光路实验。真空六轴镜架通过电动转台和三轴手动位移台进行光源位置调整，以及一整套笼式结构的镜架，保证光源在固定高度的不同点位进行光路调整。
多轴光源位置调整台
通过下方电动转台进行R轴360°旋转，以及多轴手动位移台XYZ轴移动调节对样品光源进行同心定位，然后通过上面小中孔电机对样品光源进行收光。确保电动转台的高精度重复性，以满足客户对光源每步角度调节的需求。
笼式结构镜架
多个反光镜连接做光路传递，为保证光路同心、光强正常且稳定，采用了笼式结构来满足客户的需求。
在多个反光镜之间配合以及与光源位置移动的多轴调整台之间配合时，为保证光路的同心性以光路的收光准确性，菲克科技研发了这款真空六轴镜架。
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在高级半导体器件与集成电路生产中，精确加工晶圆是重要环节。菲克科技研发了五轴位移系统，提供更高加工精度和灵活性。该系统包括X、Y平移两轴、Z升降轴、R旋转轴和DS晶圆顶升轴。每个轴都有独特功能，协同工作确保加工精准和灵活。
菲克科技FMSR-AB系列气浮转台，具有±5x26qu
运用新技术不断提高产品的品质一直是菲克科技追寻的目标。经过数月的研发调试，我们高兴地宣布，从2024年3月起，菲克科技所有的高性能版标准控制器产品全部升级为EtherCAT 总线控制。
FMSS110C-30采用高品质直线电机，结合一体式交叉滚柱导轨和光栅尺，确保了卓越的运动性能。在速度均匀性波动控制方面，我们的技术团队将其控制在千分之一以内，确保每一次运动都精确无误。