菲克科技FMSR-AB系列气浮转台，具有±5x26qu
在高级半导体器件与集成电路生产中，精确加工晶圆是重要环节。菲克科技研发了五轴位移系统，提供更高加工精度和灵活性。该系统包括X、Y平移两轴、Z升降轴、R旋转轴和DS晶圆顶升轴。每个轴都有独特功能，协同工作确保加工精准和灵活。
菲克科为客户定制的高性能四轴位移系统，以其卓越的精度、稳定性和定制化服务，为显微扫描应用提供可靠保障。 该系统以10nm/s的超精细最小运动速度，赋予对微观世界前所未有的掌控力，助力探索微观世界的无限可能。