真空六轴镜架是菲克为满足客户需求专门研发的定制产品，在不同位置对光路进行引导并且能够完成XYZR方向的位移进行各角度收光，适用于实验室需要光路密封传递不同角度时高精度位置信息的光路实验。
FMSS110C-30采用高品质直线电机，结合一体式交叉滚柱导轨和光栅尺，确保了卓越的运动性能。在速度均匀性波动控制方面，我们的技术团队将其控制在千分之一以内，确保每一次运动都精确无误。
在高级半导体器件与集成电路生产中，精确加工晶圆是重要环节。菲克科技研发了五轴位移系统，提供更高加工精度和灵活性。该系统包括X、Y平移两轴、Z升降轴、R旋转轴和DS晶圆顶升轴。每个轴都有独特功能，协同工作确保加工精准和灵活。