FEINIXS-30-VCP流量控制系统
发布时间：2019-10-22 浏览量：次 来源：菲克科技
FEINIXS-30-VCP 是我司研制的一款操作简单性能可靠的流量稳定控制系统。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等。
| 型号 | FEINIXS-30-VCP |
| 流量范围 | 30SLPM |
| 精度 | 1% |
| 重复性 | ± 0.15%F.S |
| 响应时间 | 小于1S |
| 压力范围 | 100Kpa |
| 外漏率 | 1×10-9 SCCM(He) |
| 供电电压 | ±15VDC; |
| 电源 | 4 Watts Maximum |
| 控制信号 | 0-5 VDC |
| 数字信号 | RS-232/485 |
| 输出信号 | 0-5 VDC |
配置清单：
| 名称 | 数量 | 备注 |
| 控制器 | 1 | |
| 真空泵 | 1 | |
| 气管 | 2 | 长度根据实际需要 |
| 数据线 | 1 | 附驱动光盘 |
| 电源线 | 1 |
硬件尺寸：
后面板示意图
前面板示意图
前面板示意图
控制：
本系统具有两个控制界面，一是位于控制箱前面板的触摸屏可以显示控制流量，另外也可以通过RS232接口连接电脑通过电脑软件进行控制，电脑软件除可以显示控制流量外还可以显示流量曲线、累积流量、设置采样间隔以及保存数据。
触摸屏界
电脑软件界面
本系统已经提供给多家研究院所使用，得到了用户的一致好评。跟据客户不同的需求我司还可提供从硬件到软件的定制服务。
