产品定制丨高性能真空十轴位移台

发布时间:2023-11-07    浏览量:次    来源:菲克科技

高性能真空十轴位移台


在运动控制上精益求精

高性能真空十轴位移台是菲克为满足客户需求专门研发的定制产品,适用于真空环境下的高精度激光扫描,光路搭建等其他对位置精密有要求的领域。真空十轴位移台主要由两个部分组成,分别为六轴样品位移台和四轴探测器位移台,样品位移台用于样品安装固定,探测器位移台用于安装激光探测器,两组位移台都能够进行相对独立的运动,且互相不干涉。

真空十轴位移台包含四种运动模式:平移、升降、旋转、偏摆。终端可使用手动调平装置进行调整。单轴双向重复定位精度可达±1.4μm,定位精度可达±3μm;整体单向直线度误差±6μm。各轴关系匹配角度误差不大于0.5°;距离误差1mm左右。

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真空

适用

该套产品使用环境可达高真空度1x10-5Pa,所有原器件均采用真空适用材料,环境适应性强。

闭环

反馈

旋转轴全部使用光栅尺进行闭环反馈,平移升降轴预留光栅尺接口,目前使用半闭环进行控制,后期也可加上光栅尺完成全闭环,精度可进一步提升。

FEINIXS PRODUCT






















四轴探测器位移台

高性能真空十轴位移台

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旋转轴-Rx'(2θ)



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真空伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆+圆弧光栅

行程220°,采用伺服电机+交叉滚子导轨+涡轮蜗杆结构+圆弧光栅。光栅尺进行末端位置反馈,实现全闭环,通过驱动可做精度补偿;可实现断电自锁。

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平移轴-Rx'(2θ) 带载实测精度

行程

-10-210°

定位精度

±0.0073°

双向重复定位精度

±0.00465°





标准品

2022菲克科技年度新品

平移轴-R



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真空步进电机+不锈钢直线导轨+高精度滚珠丝杆

行程700mm。采用步进电机+直线导轨+滚珠丝杆。整体为半闭环,预留光栅尺接口。主要为悬臂使用,精度要求不高。

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升降轴-X1



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真空伺服电机+不锈钢直线导轨+高精度滚珠丝杆

行程120mm。采用伺服电机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成闭环,进行精度跟踪,通过驱动可做精度补偿;可实现断电自锁。

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升降轴-X1 带载实测精度

行程

120mm

定位精度

±14.55μm

双向重复定位精度

±1.4μm





旋转轴-ψ



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真空步进电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆

行程180°。采用步进电机+交叉滚子导轨+涡轮蜗杆结构。性价比高,经济实用。

旋转轴-ψ.jpg

旋转轴-ψ 带载实测精度

行程

180°

定位精度

±0.029°

双向重复定位精度

±0.01°


六轴样品位移台

高性能真空十轴位移台

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旋转轴-Rx(θ)



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真空伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆+圆弧光栅

行程107.5°。采用伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆结构+圆弧光栅。光栅尺进行末端位置反馈,实现全闭环,通过驱动可做精度补偿;可实现断电自锁。

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旋转轴-Rx(θ) 带载实测精度

行程

-12.5-95°

定位精度

±0.0085°

双向重复定位精度

±0.0025°





平移轴-Y



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真空伺服电机+不锈钢直线导轨+滚珠丝杆

行程400mm。采用伺服电机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成闭环,进行精度跟踪,通过驱动可做精度补偿;可实现断电自锁。

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平移轴-Y 带载实测精度

行程

-20-380mm

定位精度

±9.8μm

双向重复定位精度

±4.7μm





偏摆轴-Ry(tilt)



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真空伺服电机+减速机+定制蜗轮蜗杆+弧形光栅

行程40°。采用伺服电机+减速机+定制蜗轮蜗杆结构+弧形光栅。光栅尺进行末端位置反馈,实现全闭环,通过驱动可做精度补偿;可实现断电自锁。

旋转轴-tilt.jpg

偏摆轴-Ry(tilt) 带载实测精度

行程

-20-20°

定位精度

±0.00155°

双向重复定位精度

±0.0008°





平移轴-Z



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真空伺服电机+不锈钢直线导轨+滚珠丝杆

行程200mm。采用伺服电机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成闭环,进行精度跟踪,通过驱动可做精度补偿;可实现断电自锁。

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平移轴-Z 带载实测精度

行程

200mm

定位精度

±2.75μm

双向重复定位精度

±1.15μm





升降轴-X



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真空伺服电机+减速机+直线导轨+滚珠丝杆

行程180mm。采用伺服电机+减速机+直线导轨+滚珠丝杆。使用伺服电机编码器形成闭环,进行精度跟踪,通过驱动可做精度补偿;可实现断电自锁。

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升降轴-X 带载实测精度

行程

180mm

定位精度

±6.6μm

双向重复定位精度

±1.4μm





旋转轴-Rz(φ)



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真空伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆+圆弧光栅

行程360°。采用伺服电机+交叉滚子导轨+蜗轮蜗杆结构+圆弧光栅。光栅尺进行末端位置反馈,实现全闭环,通过驱动可做精度补偿;可实现断电自锁。

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旋转轴-φ带载实测精度

行程

360°

定位精度

±0.023°

双向重复定位精度

±0.007°

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